张晓东，中国科学院苏州纳米技艺与纳米仿生商讨所正高档工程师、博士生导师，经久专注于半导体材料、器件与工艺商讨，为纳米加工平台建树作念出进攻孝顺。他坚握科技立异，开发了具有自主常识产权的增强型氮化镓高电子迁徙率晶体管，研制了具有高发光成果与颜色推崇优异的自愿光超高别离率Micro-LED微线路芯片。行动负责东谈主，张晓东主握了国度、省市级10余项科研边幅，苦求国表里发明专利40余项，发表SCI论文60余篇，得到了世界五一管事奖章、中国科学院技艺支握东谈主才、苏州“立异创业”好后生等称呼。

今天，让咱们沿途走进中国科学院苏州纳米所，倾听张博士谈“立异”力量。

绽开分享，客户可自主使用平台开荒

“立异需要忠良，更需要平台，需要精密开荒与超净环境的支握。”张晓东口中时时强调的“平台”，指的便是中国科学院苏州纳米所打造的纳米加工平台。“纳米加工平台主邀功能是对外提供半导体微纳制造加工，还有芯片封装等方面一系列的专科支握职责。咱们平台最大特色是用户不错自主过来使用咱们的开荒，进行他们的科研攻关，产物研发之类的职责。”

张晓东先容，半导体制造是一个相对比拟高端的产业，对硬件和东谈主员各方面技艺条目王人比拟高，“咱们的纳米加工平台便是把许多半导体开荒分享出来，支握产物端和产业链，去买通一些技艺研发到产物开发的最进攻智商。”

穿上超净服，记者奴婢张晓东走进中国科学院苏州纳米所纳米加工平台的超净实验室。走进一间半导体超净实验室，这里主如果一些先进的半导体薄膜的千里积开荒。张晓东先容：“这是咱们一台原子层千里积开荒，主如果用于高精度的薄膜千里积。它主要作念一些薄膜侧壁钝化之类的工艺，因为它薄膜比拟薄，可适用于更细小的半导体器件。”

“这种材料不错期骗于改日的电力电子、电动汽车和新动力等各个界限。”张晓东向记者展示了氧化镓的功率器件，“氧化镓因为它禁带宽度很大，是以堪称超宽禁带半导体材料，也被称为第四代半导体材料。它主要特质是禁带宽度大、击穿场强高，用这种材料作念的功率电子器件，它的能耗等更小。”

半导体技艺是信息技艺的中枢与基础，以氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）、氧化镓（Ga2O3）为代表的新式宽禁带半导体材料和器件已被列入“十四五”计算，在国度产业发展布局中占据优先位置，亦然“新质坐蓐力”的典型代表之一。 张晓东先容，新式宽禁带半导体材料和器件将促进消耗电子、电力电子、汽车电子、东谈主工智能、物联网、航空航天、改日前沿科技等界限发展与期骗。

一线欣喜十余载，个东谈主与平台共成长

张晓东2009年商讨生毕业加入了中国科学院苏州纳米所纳米加工平台，经久专注于半导体材料、器件与工艺商讨。行动平台创建东谈主之一，他有着浓烈的奇迹心和奉献精神，他为建成国内闻明、行业著明的全看法对外绽开半导体芯片制造与封装多功能寰球服务载体—纳米加工平台作念出了进攻孝顺。

十余年来，张晓东在一线负责了纳米加工平台E-beam、CMP、Sputter、ICP等系列半导体开荒运营及守护，为建成国内首条绽开性八英寸Micro-LED工艺线艰难发奋。他在开荒装配、调梭巡收、珍视维修、翻新校正等方面倾力付出，并积极开展工艺开发与积蓄、圭臬化工艺制定与践诺、技艺培训与东谈主才培养等职责。

记者了解到，中国科学院苏州纳米所纳米加工平台自2009年认真对外绽开以来，平台的空间面积、开荒数目、技艺发展王人得到了很大升迁，当今领有超净实验室超10000平方米，各样半导体开荒300余台套，支握硅MEMS、宽禁带半导体氮化镓、碳化硅、氧化镓以及生物芯片等研发。

当今，纳米加工平台在新式半导体芯片制造界限已成为地点与中国科学院的靓丽柬帖，每年支握数百家企业、高校、科研院所进行产物立异、技艺开发和东谈主才培训等，股东产业升值数十亿元，为新一代信息科技发展运送了大宗的技艺与东谈主才，支握了国度立异体系发展。

立异更离不开东谈主才，疏浚引发学生立异执行

在新时间，行动别称科技职责者，张晓东恒久左证国度需求，积极霸占科技制高点，坚握立异发展的理念，箝制提高与拓展业务才智。

以国度中枢基础元器件需求启航，张晓东竭力于氮化镓、氧化镓等宽禁带材料与器件商讨，开发了具有自主常识产权的增强型氮化镓高电子迁徙率晶体管技艺。行动负责东谈主，他也荣获了发轫杯改日技艺立异大赛总决赛优越奖。针对AR/VR等新式信息线路系统对线路芯片的本色需求，张晓东团队研制了具有高亮度、高发光成果与颜色推崇优异的超高别离率Micro-LED微线路芯片。基于超宽禁带氧化镓半导体薄膜与器件的隆起问题，终昭彰高质地氧化镓薄膜的异质和同质外延滋长，制备了性能优异的日盲紫外探伤器和功率电子器件，达到海外同业先进水平。

“立异需要平台的支握，更离不开东谈主才的培养。”张晓东暗意，身为博士生导师，恒久贯彻立异发展理念与立异东谈主才的培养，积极疏浚学生培养绽开性学习念念维，箝制拓展常识的深度和广度，以问题为先导，缔造立异内驱力和主不雅能动性。通过内在目的与外部引发有机聚拢，提高学生的科研立异意志，饱读吹舒服念念考与批判性念念维、多视角发现问题、多维度分析问题，在本色问题的处分中开展立异执行。当今，张晓东已指挥学生得到了第四届中国商讨生创“芯”大赛世界总决赛三等奖、第八届中国海外“互联网+”大学生立异创业大赛世界总决赛银奖、第十三届“挑战杯”中国大学生创业盘算竞赛世界总决赛银奖、中国科学技艺大学优秀毕业生和科教交融优秀商讨生等荣誉。

扬子晚报/紫牛新闻记者 刘梦雪

视频拍摄 杨泽华

视频制作 汤清宇

校对 李海慧九游会体育